Приказ Минтруда России от 16.02.2026 N 73н "Об утверждении профессионального стандарта "Специалист по технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем" (Зарегистрировано в Минюсте России 26.03.2026 N 85744)
МИНИСТЕРСТВО ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ПРИКАЗ
от 16 февраля 2026 г. N 73н
ОБ УТВЕРЖДЕНИИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА
"СПЕЦИАЛИСТ ПО ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ"
В соответствии с пунктом 20 Правил разработки и утверждения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 10 апреля 2023 г. N 580, приказываю:
1. Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт "Специалист по технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем".
2. Признать утратившими силу:
приказ Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от 3 февраля 2014 г. N 71н "Об утверждении профессионального стандарта "Инженер-технолог в области производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем" (зарегистрирован Министерством юстиции Российской Федерации 20 марта 2014 г., регистрационный N 31668);
пункт 12 Изменений, вносимых в некоторые профессиональные стандарты, утвержденные приказами Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации, утвержденных приказом Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от 12 декабря 2016 г. N 727н (зарегистрирован Министерством юстиции Российской Федерации 13 января 2017 г., регистрационный N 45230).
3. Установить, что настоящий приказ вступает в силу с 1 сентября 2026 г. и действует до 1 сентября 2032 г.
Министр
А.О.КОТЯКОВ
Утвержден
приказом Министерства труда
и социальной защиты
Российской Федерации
от 16 февраля 2026 г. N 73н
ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
СПЕЦИАЛИСТ
ПО ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
|
24
|
|
|
Регистрационный номер
|
I. Общие сведения
|
Разработка, сопровождение и интеграция технологических процессов производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
|
40.006
|
|
|
(наименование вида профессиональной деятельности)
|
код
|
Краткое описание вида профессиональной деятельности
|
Обеспечение полного технологического цикла производства наноразмерных приборов и интегральных схем, применяемых для различных областей техники гражданского и военного назначения, включая разработку и освоение новых технологических процессов производства
|
Группа занятий:
|
2141
|
Инженеры в промышленности
|
-
|
-
|
|
(код ОКЗ <1>)
|
(наименование)
|
(код ОКЗ)
|
(наименование)
|
Отнесение к области профессиональной деятельности
|
40
|
Сквозные виды профессиональной деятельности в промышленности
|
|
(код ОПД <2>)
|
(наименование области профессиональной деятельности)
|
Отнесение к видам экономической деятельности
|
26.11.3
|
Производство интегральных электронных схем
|
|
(код ОКВЭД <3>)
|
(наименование вида экономической деятельности)
|
II. Описание трудовых функций, входящих
в профессиональный стандарт (функциональная карта вида
профессиональной деятельности)
|
Обобщенные трудовые функции
|
Трудовые функции
|
|||||
|
код
|
наименование
|
уровень квалификации
|
возможные наименования должностей, профессий рабочих
|
наименование
|
код
|
уровень (подуровень) квалификации
|
|
A
|
Контроль и обеспечение соответствия оснащения и процедур использования рабочих мест требованиям маршрутных и операционных технологических карт при производстве наноразмерных интегральных схем
|
6
|
Инженер-технолог
Линейный инженер-технолог
Технолог производства наноразмерных интегральных схем
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем
|
Контроль подготовки рабочих мест и оснащения их оборудованием для технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
A/01.6
|
6
|
|
Контроль соблюдения технологической дисциплины (технологических процессов) в цехах и правильной эксплуатации технологического оборудования в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
A/02.6
|
6
|
||||
|
Аттестация технологического и измерительного оборудования и выполнение необходимых действий при отклонении аппаратных характеристик от допустимых значений при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
A/03.6
|
6
|
||||
|
B
|
Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
|
6
|
Инженер-технолог III категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем III категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных
схем III категории
|
Разработка микромаршрутов и сопровождение типового маршрута изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
B/01.6
|
6
|
|
Контроль результатов проведения технологических операций производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
B/02.6
|
6
|
||||
|
Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
B/03.6
|
6
|
||||
|
Выявление причин брака при выполнении технологических процессов и разработка комплекса мероприятий по их устранению в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
B/04.6
|
6
|
||||
|
C
|
Обеспечение функционирования производства интегральных схем с использованием нанотехнологий в соответствии с технологической документацией
|
6
|
Инженер-технолог II категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем II категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем II категории
|
Решение технологических проблем, возникающих при проведении рабочих процессов изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
C/01.6
|
6
|
|
Подготовка операторов, участвующих в проведении технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, к аттестации на повышение разряда
|
C/02.6
|
6
|
||||
|
Сбор и статистическая обработка значений производственных параметров для подготовки технических заключений о причинах появления брака при проведении технологического процесса изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
C/03.6
|
6
|
||||
|
D
|
Инженерно-технологическое обеспечение процессов производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
6
|
Инженер-технолог I категории
Ведущий специалист по технологии производства изделий наноэлектроники
|
Проведение работ по устранению и предупреждению причин брака при изготовлении наноразмерных приборов и интегральных схем
|
D/01.6
|
6
|
|
Разработка новых технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
D/02.6
|
6
|
||||
|
Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест для проведения технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
D/03.6
|
6
|
||||
|
E
|
Интеграция технологических процессов и технологический контроль производства наноразмерных приборов и интегральных схем по всему маршруту изготовления
|
6
|
Инженер - интегратор процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер по продукции
Специалист по интеграции процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер-технолог
|
Разработка и апробация типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
E/01.6
|
6
|
|
Подготовка технических заключений по выпуску партий с отклонением при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
E/02.6
|
6
|
||||
|
Решение стандартных технологических проблем, связанных с прохождением изделия по всему маршруту при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
E/03.6
|
6
|
||||
|
Контроль маршрута прохождения партии изделий в производстве наноразмерного прибора или интегральной схемы
|
E/04.6
|
6
|
||||
|
F
|
Организационно-технологическое сопровождение производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
7
|
Главный специалист по технологии производства изделий наноэлектроники
Ведущий инженер-технолог производства наноразмерных интегральных схем
Начальник группы технологических процессов в наноэлектронике
Начальник лаборатории технологических процессов в наноэлектронике
Руководитель отдела разработки технологических процессов
|
Выбор перспективных технологических процессов и оборудования по направлению деятельности для производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
F/01.7
|
7
|
|
Составление плана и проведение экспериментальных работ по отработке и внедрению новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
F/02.7
|
7
|
||||
|
Решение нестандартных технологических проблем по направлению деятельности при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
F/03.7
|
7
|
||||
III. Характеристика обобщенных трудовых функций
3.1. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Контроль и обеспечение соответствия оснащения и процедур использования рабочих мест требованиям маршрутных и операционных технологических карт при производстве наноразмерных интегральных схем
|
Код
|
A
|
Уровень квалификации
|
6
|
|
Возможные наименования должностей, профессий рабочих
|
Инженер-технолог
Линейный инженер-технолог
Технолог производства наноразмерных интегральных схем
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем
|
Пути достижения квалификации
|
Образование и обучение
|
Высшее образование - бакалавриат
|
|
Опыт практической работы
|
-
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров <4>
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда <5>
|
|
Другие характеристики
|
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет
|
Справочная информация
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки
|
|
ОКЗ
|
2141
|
Инженеры в промышленности и на производстве
|
|
ЕКС <6>
|
-
|
Инженер-технолог (технолог)
|
|
ОКПДТР <7>
|
201562
|
Инженер-технолог
|
|
Перечни ВО <8>
|
25.01.6.0
|
Электроника
|
3.1.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Контроль подготовки рабочих мест и оснащения их оборудованием для технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
A/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Проверка технического оснащения рабочих мест на производстве наноразмерных приборов и интегральных схем на соответствие нормам технической документации
|
|
Разработка технических требований к оснащению и дооснащению рабочих мест расходными материалами, инструментом и оснасткой для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Формирование технического задания для оснащения и дооснащения рабочих мест расходными материалами, инструментом и оснасткой для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Определять соответствие технической оснащенности рабочих мест для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами технической документации
|
|
Устранять несоответствия в технической оснащенности рабочих мест на производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Определять потребность в технологическом, контрольно-измерительном и вспомогательном оборудовании на рабочих местах для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Подбирать необходимое оборудование, расходные материалы, инструменты и оснастку для оснащения и дооснащения рабочих мест для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Методика организации технологических процессов и подготовки рабочих мест на производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического, контрольно-измерительного и вспомогательного оборудования для производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Основы организации и планирования производства наноразмерных интегральных схем в области оснащения рабочих мест
|
|
|
Опасные и вредные факторы при выполнении работ при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Правила производственной санитарии при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Виды и правила применения средств индивидуальной и коллективной защиты при выполнении работ при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Требования охраны труда, пожарной, промышленной, экологической безопасности и электробезопасности при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры чистых помещений для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.1.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Контроль соблюдения технологической дисциплины (технологических процессов) в цехах и правильной эксплуатации технологического оборудования в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
A/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Контроль соблюдения правил эксплуатации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль соблюдения правил эксплуатации технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль соблюдения типовых маршрутов при реализации технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выявление причин брака в производстве наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Расчет статистических показателей пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных приборов и интегральных микросхем
|
|
|
Предложение решений по изменению технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем с целью обеспечения воспроизводимости, предупреждения и ликвидации брака
|
|
|
Согласование изменений, внесенных в технологическую документацию, с работниками на участках производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Контроль соблюдения электровакуумной гигиены при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль соблюдения правил работы с продукцией при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Оперативно решать технологические проблемы в процессе производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Заполнять и оформлять карты сбора информации и контрольные карты при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выявлять причины выхода за контрольные границы параметров технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Производить межоперационный контроль параметров интегральных структур изделий на каждом технологическом этапе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Использовать контрольно-измерительное оборудование для контроля работоспособности оборудования для производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Измерять параметры формируемых слоев и конструктивных элементов при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Использовать стандартные компьютерные программы для обработки статистических данных производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Использовать утвержденную процедуру внесения изменений в технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Анализировать технологический процесс производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами (в соответствии с зоной ответственности), включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
|
Анализировать лог-файлы оборудования для определения точного расхода материалов, затрачиваемых на пластину в процессе обработки или на продувку (прокачку) линий
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные параметрические зависимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Эксплуатационные характеристики технологического оборудования в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Эксплуатационные характеристики технологической оснастки для производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Виды дефектов при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Технологические факторы, вызывающие погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Методы уменьшения влияния технологических факторов, вызывающих погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Последовательность внесения изменений в технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки, чтения и внесения изменений в технологическую документацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Процедуры согласования предложений по изменению технологической документации производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Эксплуатационные характеристики контрольно-измерительного оборудования при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.1.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Аттестация технологического и измерительного оборудования и выполнение необходимых действий при отклонении аппаратных характеристик от допустимых значений при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
A/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Контроль подготовки и проведения плановой аттестации и решение о проведении внеплановой аттестации оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль привнесенной дефектности с использованием лазерных анализаторов поверхности и определения ионных загрязнений с использованием рентгенофлюоресцентного анализа для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль внесения полученных результатов аттестационных процессов в карты статистического управления с применением системы автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка рекомендаций при отклонении результатов аттестаций от контрольных границ значений параметров для технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль подготовки пластин в соответствии с технологической инструкцией для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль проведения реставрации вспомогательных пластин на технологическом оборудовании при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
|
|
Взаимодействие с инженерами по обслуживанию оборудования с целью выявления причин брака и разработки плана мероприятий по их устранению
|
|
|
Разработка методик аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Производить сортировку пластин при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выбирать тесты в соответствии с планом-графиком аттестации вверенного технологического оборудования и указаниями системы автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Запускать маршрут аттестации технологического оборудования в системе автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Отбирать необходимые пластины для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Производить тестовые измерения параметров структур и слоев на пластинах для аттестаций технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать на технологическом оборудовании производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные параметрические зависимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Режим работы в чистом производственном помещении для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
План контроля единицы оборудования, находящегося в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Типы вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные), используемые в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Операционные карты универсальные на технологическое и измерительное оборудование, рабочие технологические инструкции по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Характеристики сред, влияющих на достижение значений параметров процесса внутри контрольных границ, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Опасные и вредные свойства используемых агрессивных сред для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Принципы обращения с опасными и агрессивными технологическими средами в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
План действий при отклонении параметров процессов в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Критерии годности для повторного использования реставрационных пластин
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.2. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
|
Код
|
B
|
Уровень квалификации
|
6
|
|
Возможные наименования должностей, профессий рабочих
|
Инженер-технолог III категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем III категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем III категории
|
Пути достижения квалификации
|
Образование и обучение
|
Высшее образование - бакалавриат
или
Высшее образование - магистратура
|
|
Опыт практической работы
|
Не менее одного года на инженерных должностях в области технологии производства наноразмерных интегральных схем при наличии высшего образования - бакалавриат
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда
|
|
Другие характеристики
|
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет
|
Справочная информация
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки
|
|
ОКЗ
|
2141
|
Инженеры в промышленности и на производстве
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог (технолог)
|
|
ОКПДТР
|
201562
|
Инженер-технолог
|
|
Перечни ВО
|
25.01.6.0
|
Электроника
|
|
25.01.7.1
|
Электроника
|
3.2.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Разработка микромаршрутов и сопровождение типового маршрута изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
B/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Контроль параметров структур и слоев интегральных схем после проведения технологических операций
|
|
Отслеживание соблюдения операторами правила выбора рабочих партий для проведения технологических операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Определение операций, приведших к отклонению параметров готового изделия, браку или уменьшению выхода годных изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоев и изделий
|
|
Контролировать временной график прохождения партий пластин по технологическому маршруту в циклах производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с программным обеспечением для анализа результатов измерений параметров процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать на технологическом оборудовании по своему профилю при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Технологический регламент обработки партий рабочих пластин при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Регламенты, стандарты организации по технике безопасности, вакуумной гигиене и чистым зонам для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Процедуры контроля партий рабочих пластин, проходящих по маршруту изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Требования операционных, маршрутных и контрольных карт производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Эксплуатационные характеристики контрольно-измерительного оборудования при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
|
Параметры разработки технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.2.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Контроль результатов проведения технологических операций производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
B/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Управление технологическими параметрами операций производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль деятельности операторов и соблюдения ими правил проведения технологических и контрольных операций, транспортировки партий изделий при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Определение и устранение причин отклонения параметров технологических операций от заданных при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка предложений по корректировке планов действий при отклонениях, возникающих при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выполнение тестов аттестации технологического оборудования, находящегося в зоне ответственности, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка предложений о внедрении мер по оптимизации, улучшению работы и снижению эксплуатационных затрат технологического оборудования на основе анализа процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Взаимодействие с сотрудниками технологического отдела и отдела по обслуживанию технологического оборудования по вопросам обработки рабочих партий интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, выполнения экспериментов, разработки новых рецептов технологических процессов, выяснения причин сбоя при проведении технологической операции или работе оборудования
|
|
|
Исследование возможных отклонений в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами от заданных технических параметров и характеристик, и формирование письменных отчетов о выявленных ошибках
|
|
|
Подготовка предложений о краткосрочных и долгосрочных корректирующих действиях при выявлении расхождений в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Осуществление технологического надзора за выполнением технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоев и изделий
|
|
Производить анализ и определять причины отклонения параметров технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с документацией для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием, используемым в наноэлектронике
|
|
|
Работать в качестве оператора на технологическом оборудовании, находящемся в зоне ответственности, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Технологические режимы работы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Регламенты и стандарты организации по технике безопасности, вакуумной гигиене и чистым производственным помещениям для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры контроля партий рабочих пластин после проведения технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Программное обеспечение для анализа результатов измерений параметров при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Требования операционных, маршрутных и контрольных карт на изделие для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Типичные причины появления несоответствий при обработке продукции на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в зоне ответственности
|
|
|
Эксплуатационные характеристики контрольно-измерительного оборудования при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
|
Параметры разработки технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.2.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
B/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Сбор материалов и подготовка исходной информации для технических заключений по проблемам производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверка правильности заполнения контрольных листков и контрольных карт операторами при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Подготовка отчетов по статистическому анализу параметров работы технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проверка ошибок, регистрируемых программным обеспечением технологического оборудования при выполнении рабочего цикла
|
|
|
Проверка правильности заполнения сопроводительных листов при выявлении причин отклонения параметров технологической операции при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Внесение предложений по изменению технологической документации
|
|
|
Внесение предложений по изменению планов действий при отклонениях, возникающих в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выявление причин брака, разработка рекомендаций по их устранению и предупреждению при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работа с продукцией: выполнение планов действий при отклонении от заданных технических параметров при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, способных повлиять на качество продукции, выполнение разрешенных реставрационных мероприятий и операций, подготовка заключения о причине отклонения от заданных параметров
|
|
|
Необходимые умения
|
Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для подготовки отчета по аттестациям технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать воспроизводимость технологических процессов на оборудовании, находящемся в зоне ответственности специалистов, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выявлять причины выхода за контрольные границы параметров технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать в стандартных компьютерных программах для обработки статистических данных технологических процессов производства изделий наноэлектроники
|
|
|
Анализировать параметрические зависимости входных и выходных характеристик технологического процесса, проведение которого выполняется при его модернизации или разработке нового процесса
|
|
|
Оперативно выявлять технологические проблемы, возникающие на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Формулировать предложения по улучшению технологических процессов, предупреждению и ликвидации брака в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные параметрические зависимости технологических процессов
|
|
|
Эксплуатационные характеристики технологического оборудования и необходимой оснастки, находящихся в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Виды дефектов, возникающих после проведения технологической операции на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Возможные причины отклонений параметров технологических процессов, проводимых на оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Методы аттестации и оценки воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Программы статистического анализа технологических процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.2.4. Трудовая функция
|
Наименование
|
Выявление причин брака при выполнении технологических процессов и разработка комплекса мероприятий по их устранению в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
B/04.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Сбор материалов и подготовка исходной информации для технических заключений по проблемам производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверка правильности заполнения контрольных листков и контрольных карт операторами при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Подготовка еженедельных отчетов по статистическому анализу параметров работы технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проверка ошибок, регистрируемых программным обеспечением технологического оборудования при выполнении рабочего цикла, правильности заполнения сопроводительных листов при выявлении причин отклонения параметров технологической операции при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Внесение предложений по изменению в технологическую документацию и в планы действий при отклонениях, возникающих в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проведение экспериментальных процессов в соответствии с планом экспериментов по выявлению и анализу причин брака для разработки рекомендаций по их устранению и предупреждению при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка рекомендаций по устранению брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работа с несоответствующей продукцией: выполнение планов действий при отклонении, выполнение разрешенных переделок, подготовка заключения по причине отклонения, возникшего при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для подготовки отчета по аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать пригодность и воспроизводимость технологических процессов на оборудовании, находящемся в зоне ответственности специалистов, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выявлять причины потери точности технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать в стандартных компьютерных программах для обработки статистических данных технологических процессов производства изделий наноэлектроники
|
|
|
Анализировать основные технологические параметры процессов, реализуемых на оборудовании, находящемся в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Анализировать влияние режимов работы технологического оборудования и используемой оснастки на качество проведения технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оперативно выявлять технологические проблемы, возникающие на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Формулировать предложения по улучшению технологических процессов, предупреждению и ликвидации брака в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Необходимые знания
|
Параметры технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем на вверенном технологическом оборудовании
|
|
Эксплуатационные характеристики технологического оборудования и необходимой оснастки, находящихся в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Виды дефектов, возникающих на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Технологические факторы, влияющие на отклонения в технологических процессах на оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Методы управления технологическими факторами для снижения количества отклонений, возникающих при проведении технологических процессов на оборудовании в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Методы анализа технического уровня объектов техники и технологии
|
|
|
Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Программы статистического анализа технологических процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Планы действий при выявлении отклонений от установленных параметров технологических процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.3. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Обеспечение функционирования производства интегральных схем с использованием нанотехнологий в соответствии с технологической документацией
|
Код
|
C
|
Уровень квалификации
|
6
|
|
Возможные наименования должностей, профессий рабочих
|
Инженер-технолог II категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем II категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем II категории
|
Пути достижения квалификации
|
Образование и обучение
|
Высшее образование - бакалавриат и дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации
или
Высшее образование - магистратура, специалитет
|
|
Опыт практической работы
|
Не менее двух лет на инженерных должностях III категории в области технологии производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда
|
|
Другие характеристики
|
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет
|
Справочная информация
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки
|
|
ОКЗ
|
2141
|
Инженеры в промышленности и на производстве
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог (технолог)
|
|
ОКПДТР
|
201562
|
Инженер-технолог
|
|
Перечни ВО
|
25.01.6.0
|
Электроника
|
|
25.01.7.1
|
Электроника
|
|
|
25.09.7.2
|
Радиоэлектронные системы и комплексы
|
3.3.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Решение технологических проблем, возникающих при проведении рабочих процессов изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
Код
|
C/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Обращения с несоответствующей продукцией согласно технологической инструкции при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выполнение плана действий при отклонении параметров рабочего процесса при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выполнение плана действий при отклонении параметров аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Организация и (или) проведение разрешенной реставрации пластин, описанной в технологической документации, на партии с неприемлемой дефектностью при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Взаимодействие со специалистами технических подразделений по обслуживанию оборудования для поиска причин отклонения параметров в работе оборудования
|
|
|
Необходимые умения
|
Регистрировать несоответствие, выявленное в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Организовывать переделку продукции в соответствии с технологической инструкцией
|
|
|
Выявлять причины отклонения параметров технологического оборудования
|
|
|
Определять на картах дефектности характерные следы оборудования в зоне ответственности
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Средства контроля технологических операций, применяемые в технологическом процессе производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Локальные нормативные акты организации по оформлению технологической документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Основные причины возникновения привносимой в результате проведения технологической операции дефектности на картах дефектности при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Типы дефектов и источники, включая процессы их появления (недотрав (перетрав), надополировка (переполировка), дефокусировка фоторезиста, кометообразные дефекты)
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.3.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Подготовка операторов, участвующих в проведении технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, к аттестации на повышение разряда
|
Код
|
C/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Определение порядка и вида аттестационного процесса на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка программ повышения квалификации операторов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Планирование и организация проведения теоретических и практических занятий по обучению операторов на повышение разряда, контроль качества знаний, полученных операторами производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Обучение операторов работе на новом технологическом оборудовании, выполнению нестандартных технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Обучение операторов проведению аттестационных процессов на технологическом оборудовании
|
|
|
Обучение операторов соблюдению требований охраны труда и экологической безопасности при проведении аттестационных процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проверка знаний операторами комплекса мер электровакуумной гигиены в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оценка правильности действий операторов при выполнении аттестационных процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Показывать выполнение аттестационных процессов, приемов использования измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Формулировать задачи при подготовке операторов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами к аттестации на повышение разряда
|
|
|
Оказывать помощь операторам в изучении технологических схем и документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проверять уровень безопасности выполнения работ при аттестации технологических процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Принимать решения о прекращении аттестационных работ при возникновении условий, представляющих непосредственную угрозу жизни и здоровью работников, во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Производить работы по аттестации оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами с соблюдением норм безопасности, предписанных для данных работ
|
|
|
Работать на технологическом оборудовании и измерительном оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проводить проверку знания операторами комплекса мер электровакуумной гигиены в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Определять порядок и вид необходимой аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с программными средствами статистического контроля аттестационных процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Принципы безопасного выполнения работ и технологических операций на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.3.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Сбор и статистическая обработка значений производственных параметров для подготовки технических заключений о причинах появления брака при проведении технологического процесса изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
Код
|
C/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Проверка условий прохождения партии с отклонением при обработке на вверенном технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверка измеренных параметров после обработки партии с отклонением во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Сбор информации об условиях прохождения партии через установку сортировки пластин во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Подготовка информации по аттестации технологического оборудования, попадающего под подозрение, для выявления возможности возникновения отклонения при обработке продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Производить анализ условий прохождения партий при обработке на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверять условия измерения параметров рабочих пластин после проведения технологической операции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Возможности оборудования по анализу ошибок, регистрируемых программным обеспечением технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Последовательность заполнения сопроводительных листов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры и характеристики изделия в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.4. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Инженерно-технологическое обеспечение процессов производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
D
|
Уровень квалификации
|
6
|
|
Возможные наименования должностей, профессий рабочих
|
Инженер-технолог I категории
Ведущий специалист по технологии производства изделий наноэлектроники
|
Пути достижения квалификации
|
Образование и обучение
|
Высшее образование - магистратура, специалитет
|
|
Опыт практической работы
|
Не менее трех лет на инженерных должностях II категории в области технологии производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда
|
|
Другие характеристики
|
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет
|
Справочная информация
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки
|
|
ОКЗ
|
2141
|
Инженеры в промышленности и на производстве
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог (технолог)
|
|
ОКПДТР
|
201562
|
Инженер-технолог
|
|
Перечни ВО
|
25.01.7.1
|
Электроника
|
|
25.09.7.2
|
Радиоэлектронные системы и комплексы
|
3.4.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Проведение работ по устранению и предупреждению причин брака при изготовлении наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
D/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Составление и контроль выполнения плана-графика аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка форм карт сбора информации по измерительным операциям в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проведение статистического анализа параметров технологических операций для определения эффективности и управляемости процессов изготовления продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Определение причин возникновения брака рабочих партий, сбор информации для дальнейшего анализа причин возникновения брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Обобщение собранной информации для подготовки технического заключения, выполнение плана временных сдерживающих действий для предупреждения причин брака интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выявление и устранение причин брака при проведении технологической операции, отклонений от заданных в документации параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Внесение изменений в технологическую документацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Согласование предложений по изменению технологических процессов производства наноразмерных интегральных микросхем
|
|
|
Разработка решений по обеспечению и (или) повышению воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Формулирование предложений по предупреждению возможных рисков, связанных с использованием новых материалов, оборудования, процессов, при подготовке отчета по анализу видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Анализировать пригодность и воспроизводимость технологических процессов производства изделий наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Использовать стандартные программы для обработки статистических данных процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Анализировать основные параметры реализуемых технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оперативно определять пути решения технологических проблем, возникающих в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Анализировать предложения по изменениям в технологических процессах, предупреждению и ликвидации брака в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Параметры и режимы технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Эксплуатационные характеристики технологического оборудования и оснастки для производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Виды дефектов при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Технологические факторы, вызывающие погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Методы уменьшения влияния технологических факторов, вызывающих погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Методы анализа технического уровня объектов техники и технологии
|
|
|
Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Программы статистического анализа процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Процедуры согласования предложений по изменению технологических процессов, находящихся в зоне ответственности, в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Процедуры согласования предложений по изменению технологической документации, касающейся технологических процессов в зоне ответственности, в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.4.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Разработка новых технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
D/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Разработка технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в соответствии с техническим заданием
|
|
Оценка возможностей технологического оборудования для реализации нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка технических заданий на нестандартные технологическую оснастку, оборудование, средства автоматизации процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, их модернизацию
|
|
|
Разработка технических заданий на обвязку (подключение к инженерным системам) нового оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, контроль его размещения, монтажа и обвязки
|
|
|
Создание программы обработки нового технологического процесса на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Анализ рисков при разработке нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами и оценка влияния на последующие операции
|
|
|
Отработка нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на вспомогательных пластинах
|
|
|
Отработка микромаршрута с новым технологическим процессом производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль данных, полученных при прохождении пластин по микромаршруту, и корректировка процесса (при необходимости) производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Открытие разрешения на временное отклонение с использованием нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль обработки партий в соответствии с разрешением на временное отклонение и принятие решения о дальнейших действиях с новым процессом производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Открытие технологической пробы с использованием разработанного технологического процесса (при положительных результатах его предварительного использования) производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка спецификации на технологический процесс производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, определение контрольно-измерительных параметров и контрольных границ для статистического контроля процесса
|
|
|
Разработка плана работ по предупреждению рисков при разработке нового технологического процесса и оценка влияния на последующие операции
|
|
|
Необходимые умения
|
Выявлять основные технологические задачи, решаемые при разработке единичного технологического процесса производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Анализировать возможности использования имеющегося технологического оборудования для реализации новых процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выбирать технические режимы операций единичного технологического процесса производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Анализировать риски при разработке нового технологического процесса и оценивать влияние на последующие операции
|
|
|
Анализировать возможности средств контроля технических характеристик наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Работать на технологическом и измерительном оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с программами статистического контроля процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выполнять аттестацию технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типовые технологические процессы производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Стандарты и локальные нормативные акты по оформлению технологической документации в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Методика выбора технологических режимов проведения технологических операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Методы разработки технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оборудование для реализации технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Средства контроля технологических операций, применяемые в технологическом процессе производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Характеристики оборудования для реализации технологических процессов при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.4.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест для проведения технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
D/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Разработка технических заданий на подключение технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами к газовым и химическим магистралям, вытяжкам, системе сливов, вакуумным линиям, электричеству (составление матрицы потребления энергоносителей)
|
|
Разработка технических заданий на обвязку (подключение к инженерным системам) нового оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, контроль его размещения, монтажа и обвязки
|
|
|
Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест в чистом производственном помещении для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Контроль проведения механических тестов проверки подключенного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка планировок размещения вспомогательного технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка логистических схем движения продукции для корректного размещения технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Читать и анализировать чертежи и схемы технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать различные схемы расстановки и компоновки технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Выбирать модели расстановки оборудования с учетом логистики пластин в производственном цикле
|
|
|
Анализировать различные схемы расстановки метрологического оборудования для общего пользования
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Оценивать габариты размещаемого технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в зоне размещения
|
|
|
Анализировать техническое задание на разработку планировочных решений для размещения оборудования, используемого в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типовые маршруты производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Процедура расчета потребления энергоносителей для каждой размещаемой единицы оборудования
|
|
|
Методы определения необходимого качества энергоносителей, подаваемых на подключаемое оборудование
|
|
|
Оборудование для реализации технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Предельно допустимые уровни вибрации пола, чистоты процессных и сервисных газов, жидких химических реактивов, деионизованной и охлаждающей воды, применяемые при производстве интегральных схем
|
|
|
Параметры эксплуатации вспомогательного оборудования, обеспечивающего работоспособность технологической установки (насосы, чиллеры, теплообменники, газовые и химические кабинеты)
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.5. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Интеграция технологических процессов и технологический контроль производства наноразмерных приборов и интегральных схем по всему маршруту изготовления
|
Код
|
E
|
Уровень квалификации
|
6
|
|
Возможные наименования должностей, профессий рабочих
|
Инженер - интегратор процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер по продукции
Специалист по интеграции процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер-технолог
|
Пути достижения квалификации
|
Образование и обучение
|
Высшее образование - магистратура, специалитет
|
|
Опыт практической работы
|
Не менее одного года на инженерных должностях в области технологии производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда
|
|
Другие характеристики
|
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет
|
Справочная информация
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки
|
|
ОКЗ
|
2141
|
Инженер-технолог
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог (технолог)
|
|
ОКПДТР
|
201562
|
Инженер-технолог
|
|
Перечни ВО
|
25.01.7.1
|
Электроника
|
|
25.09.7.2
|
Радиоэлектронные системы и комплексы
|
3.5.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Разработка и апробация типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
E/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Разработка типовых технологических маршрутов для изготовления наноразмерного прибора или интегральной схемы на основе базовых технологий
|
|
Составление тестовых маршрутов для проверки корректности составления общего технологического маршрута изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Коррекция и доработка типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Разработка схем контроля технологических параметров в процессе изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Составление и оформление технологической документации на разработанный маршрут изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Необходимые умения
|
Изучать данные новых технологических разработок и мировые тенденции в производстве интегральных схем с наноразмерными нормами
|
|
Производить анализ результатов измерений электрофизических параметров формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоев и изделий
|
|
|
Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с документацией по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Система менеджмента качества конкретной организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Технологические режимы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры безопасности, вакуумной гигиены, чистых зон для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Процедуры контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Операционные, маршрутные и контрольные карты производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Основные свойства газов, жидких химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.5.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Подготовка технических заключений по выпуску партий с отклонением при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
E/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Разработка технических решений по представленным данным о несоответствии технологического процесса и принятие решения о размещении несоответствующей партии при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка технических решений по результатам анализа несоответствий при контроле вольтамперных характеристик наноразмерных приборов или дефектности на пластинах
|
|
|
Подготовка рекомендаций по устранению причин отклонения параметров готовых наноразмерных интегральных схем от проектных и внесение изменений в маршрут изготовления (при необходимости)
|
|
|
Подготовка технического заключения по поступившей рекламации на выпущенное наноразмерное изделие электроники
|
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоев и изделий
|
|
Производить анализ результатов измерений электрофизических параметров формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоев и изделий
|
|
|
Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с документацией для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием, используемым в наноэлектронике
|
|
|
Разрабатывать микромаршруты для проверки гипотез при выявлении причин возникновения отклонений параметров от границы спецификаций на изделие в партии при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Система менеджмента качества конкретной организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Технологические режимы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры безопасности, вакуумной гигиены, чистых зон для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Процедуры контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Операционные, маршрутные и контрольные карты для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Программы статистического анализа процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Основные свойства газов, жидких химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.5.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Решение стандартных технологических проблем, связанных с прохождением изделия по всему маршруту при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
E/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Определение соответствия партии готовых интегральных схем с наноразмерными проектными нормами границам спецификации на изделие по результатам финишного контроля вольтамперных характеристик Разработка схем проведения дополнительных замеров параметров при отклонении от норм какого-либо параметра во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выявление узлов, где возникли технологические проблемы, повлиявшие на параметры изделия в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, по результатам анализа маршрута изготовления кристалла
|
|
|
Контроль параметров, способных влиять на работоспособность выпускаемых приборов, разработка плана действий в случае выхода показателей за границы спецификации на изделие при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Производить анализ результатов финишного контроля вольтамперных характеристик и принимать решения по партии изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Организовывать проведение дополнительных замеров параметров при отклонении от норм технологического параметра в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оптимизировать параметры технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Производить работы по сопровождению прохождения по маршруту партий интегральных схем с наноразмерными проектными нормами с соблюдением предписанных для данного вида работ норм безопасности
|
|
|
Планировать и проводить технологические эксперименты в рамках производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Осуществлять технологический надзор за производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разрабатывать маршрутные карты (технологические маршруты) производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Измерять электрофизические параметры технологических слоев интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать на оборудовании для контроля дефектности со сформированным рисунком, выполнять метрологический контроль дефектности при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Операционные карты универсальные на измерительное оборудование для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основы цифровой и аналоговой схемотехники наноразмерных ультрабольших интегральных схем
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Основные свойства газов, жидких химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
|
Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.5.4. Трудовая функция
|
Наименование
|
Контроль маршрута прохождения партии изделий в производстве наноразмерного прибора или интегральной схемы
|
Код
|
E/04.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
Трудовые действия
|
Контроль порядка, вида и параметров технологических операций производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Отслеживание прохождения партии изделия наноэлектроники в соответствии с маршрутным (сопроводительным) листом
|
|
|
Организация разбора ситуации при выходе параметров процессов за границы спецификации на изделие наноэлектроники
|
|
|
Организация работ по поиску решений проблем, возникающих при прохождении партии по маршруту, в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Определять порядок, вид и технологические параметры операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Заполнять стандартные формы маршрутных листов в соответствии с установленным регламентом производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать в составе проектной группы производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разрабатывать и экспериментально проверять технологические процессные блоки (микромаршруты) при отработке гипотез о причинах несоответствия параметров изделия наноэлектроники границам спецификации
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Последовательность согласования маршрутного листа производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Методы математического моделирования процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.6. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Организационно-технологическое сопровождение производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
F
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
Возможные наименования должностей, профессий рабочих
|
Главный специалист по технологии производства изделий наноэлектроники
Ведущий инженер-технолог производства наноразмерных интегральных схем
Начальник группы технологических процессов в наноэлектронике
Начальник лаборатории технологических процессов в наноэлектронике
Руководитель отдела разработки технологических процессов
|
Пути достижения квалификации
|
Образование и обучение
|
Высшее образование - магистратура, специалитет
|
|
Опыт практической работы
|
Не менее трех лет на инженерных должностях I категории в области технологии производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда
|
|
Другие характеристики
|
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет
|
Справочная информация
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки
|
|
ОКЗ
|
1223
|
Руководители подразделений по научным исследованиям и разработкам
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог (технолог)
|
|
-
|
Начальник производственной лаборатории (по контролю производства)
|
|
|
ОКПДТР
|
203383
|
Руководитель отдела разработки технологических процессов
|
|
202434
|
Начальник лаборатории (в обрабатывающей промышленности)
|
|
|
Перечни ВО
|
25.01.7.1
|
Электроника
|
|
25.09.7.2
|
Радиоэлектронные системы и комплексы
|
3.6.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Выбор перспективных технологических процессов и оборудования по направлению деятельности для производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
F/01.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Трудовые действия
|
Разработка единичных технологических процессов, освоение и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка маршрутных технологических процессов, освоение и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка групповых технологических процессов и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оптимизация параметров технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Освоение и внедрение технологических процессов и необходимых режимов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на выпускаемую продукцию
|
|
|
Определение экономической эффективности разрабатываемых технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка маршрутного технологического процесса изготовления наноэлектронных изделий в составе проектной группы
|
|
|
Исследование видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Подготовка отчета по результатам анализа видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоев и изделий
|
|
Проводить оптимизацию параметров технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с документацией, подготавливать технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Производить расчеты режимов технологических операций для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Изучать данные новых технологических разработок и мировые тенденции в производстве интегральных схем с наноразмерными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Иностранный язык не ниже порогового уровня
|
|
|
Типы оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Операционные, маршрутные и контрольные карты для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Последовательность операций, режимы технологических процессов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры и характеристики чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, обеспечивающих производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормам
|
|
|
Процедуры контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Неорганическая и органическая химия, физическая химия
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.6.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Составление плана и проведение экспериментальных работ по отработке и внедрению новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
F/02.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Трудовые действия
|
Составление плана проведения экспериментальных работ по отработке новых материалов, процессов, оборудования с распределением зон ответственности
|
|
Выбор и внедрение новых материалов, освоение новых технологических процессов, новых видов оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оценка экономической целесообразности внедрения новых материалов, технологических процессов, оборудования и оснастки в существующее производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка и экспериментальная проверка технологических процессных блоков (микромаршрутов), объединение их в общий маршрут изготовления наноэлектронного изделия
|
|
|
Разработка технологической документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Подготовка отчетов по результатам проведения экспериментальных работ, включая анализ видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Необходимые умения
|
Производить анализ технических и технологических параметров оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на соответствие их паспортным характеристикам
|
|
Разрабатывать рекомендации по выбору оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Проводить оптимизацию технологических операций для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разрабатывать рекомендации по устранению причин брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Применять методы сбора данных для изучения научно-технической информации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Работать с научно-технической литературой, анализировать и обобщать научно-техническую информацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Рассчитывать экономический эффект от внедрения новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Измерять электрофизические параметры формируемых слоев и изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Составлять закупочные спецификации на оборудование для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Иностранный язык не ниже порогового уровня
|
|
|
Возможности, характеристики оборудования организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Типы оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Типы, характеристики оборудования, выпускаемого ведущими организациями мира, для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Физико-химические основы и ограничения базовых технологических процессов наноэлектроники
|
|
|
Физика твердого тела
|
|
|
Физика полупроводниковых наноразмерных приборов
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.6.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Решение нестандартных технологических проблем по направлению деятельности при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
F/03.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Трудовые действия
|
Разработка предложений при необходимости модернизации технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка рекомендаций при необходимости модернизации технологического оборудования и технологической оснастки на выпускаемую продукцию в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Согласование графиков планового технического обслуживания оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Разработка плана временных сдерживающих действий, выявление корневых причин брака выпускаемой продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами и разработка плана корректирующих действий
|
|
|
Необходимые умения
|
Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров технологического процесса от заданных в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разрабатывать рекомендации по устранению причин сбоя оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Рассчитывать потребление материалов для обеспечения технологического участка необходимыми материалами и реагентами для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Заполнять соответствующие формы документов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Производить анализ и определять причины брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры оборудования, используемого в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Параметры операционных карт на процессы, маршрутных карт на изделия наноэлектроники
|
|
|
Параметры и характеристики изделия в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Показатели расходования материалов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Материально-техническое обеспечение рабочего места в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Критерии качества выпускаемой продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее
|
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы
|
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники
|
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
|
Иностранный язык не ниже порогового уровня
|
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
|
Другие характеристики
|
-
|
IV. Сведения об организациях - разработчиках
профессионального стандарта
4.1. Ответственная организация-разработчик
|
Фонд инфраструктурных и образовательных программ, город Москва
|
|
|
Генеральный директор
|
Тихонов Алексей Никитович
|
4.2. Наименования организаций-разработчиков
|
1
|
АО "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники", город Москва, город Зеленоград
|
|
2
|
НП "Межотраслевое объединение наноиндустрии", город Москва
|
|
3
|
Совет по профессиональным квалификациям в сфере нанотехнологий и микроэлектроники, город Москва
|
|
4
|
ФГБОУ ВО "Российская академия народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации", город Москва
|
--------------------------------
<1> Общероссийский классификатор занятий.
<2> Приказ Минтруда России от 29 сентября 2014 г. N 667н "О реестре профессиональных стандартов (перечне видов профессиональной деятельности)" (зарегистрирован Минюстом России 19 ноября 2014 г., регистрационный N 34779) с изменением, внесенным приказом Минтруда России от 9 марта 2017 г. N 254н (зарегистрирован Минюстом России 29 марта 2017 г., регистрационный N 46168).
<3> Общероссийский классификатор видов экономической деятельности.
<4> Приказ Минтруда России, Минздрава России от 31 декабря 2020 г. N 988н/1420н "Об утверждении перечня вредных и (или) опасных производственных факторов и работ, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные медицинские осмотры при поступлении на работу и периодические медицинские осмотры" (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный N 62278), действует до 1 апреля 2027 г.; приказ Минздрава России от 28 января 2021 г. N 29н "Об утверждении Порядка проведения обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров работников, предусмотренных частью четвертой статьи 213 Трудового кодекса Российской Федерации, перечня медицинских противопоказаний к осуществлению работ с вредными и (или) опасными производственными факторами, а также работам, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские осмотры" (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный N 62277) с изменениями, внесенными приказами Минздрава России от 1 февраля 2022 г. N 44н (зарегистрирован Минюстом России 9 февраля 2022 г., регистрационный N 67206), от 2 октября 2024 г. N 509н (зарегистрирован Минюстом России 1 ноября 2024 г., регистрационный N 79994), действует до 1 апреля 2027 г.
<5> Порядок обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда, устанавливаемый Правительством Российской Федерации в соответствии со статьей 219 Трудового кодекса Российской Федерации.
<6> Единый квалификационный справочник должностей руководителей, специалистов и служащих.
<7> Общероссийский классификатор профессий рабочих, должностей служащих и тарифных разрядов.
<8> Приказ Минобрнауки России от 1 февраля 2022 г. N 89 "Об утверждении перечня специальностей и направлений подготовки высшего образования по программам бакалавриата, программам специалитета, программам магистратуры, программам ординатуры и программам ассистентуры-стажировки" (зарегистрирован Минюстом России 3 марта 2022 г., регистрационный N 67610) с изменениями, внесенными приказами Минобрнауки России от 29 августа 2022 г. N 822 (зарегистрирован Минюстом России 15 ноября 2022 г., регистрационный N 70948), от 2 августа 2024 г. N 514 (зарегистрирован Минюстом России 16 августа 2024 г., регистрационный N 79187).